二探针单晶硅及多晶硅测试仪

二探针单晶硅及多晶硅测试仪 　型号：TC-GL-1

本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，以便硅材料的切割和加工。

    为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在、等先进的工业，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。

仪器符合ASTM 《“F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准，是一种新型的半导体电阻率测试仪，适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法精确测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率，从而进一步判断半导体材料的性能，指导和监视工艺操作，也可以用来测量金属材料的电阻，仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。

    仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分，仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示，零位稳定、输入阻抗高，并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时，具有系数修正功能，从面板输入相应的修正系数，可以直接读出电阻率，使用方便。测试台结构新颖，造型美观，可以方便地固定好大小任意尺寸的样品，并可以作逐点选择步进测量，也可以自由选择固定位置测量，电活动自如，具备锁定装置，方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅，测试探头能自动升降，探针为碳化钨材料，配置宝石轴承，具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整，以适合不同的材料。

仪器主要技术指标：

1.可测硅材料尺寸：

     直径Φ25~Φ150mm满足ASTM F-397的技术要求。

     长度：100~1100mm.

2.测量方式：轴向测量，每隔10mm测量一点。

3.测量电阻率范围：10-3~103Ω-cm,可扩展到105Ω-cm。

4.数字电压表：

    （1）量    程：0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

    （2）测量误差：±0.3%读数±2字

    （3）输入阻抗：0.2mV和2mV档>106Ω

                  20mV档及以上>108Ω

    （4）显    示：31/2位LED数字显示，范围0~1999。

5.恒流源：

    （1）电流输出：直流电流0~100mA连续可调。

    （2）量    程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

    （3）电流误差：±0.3%读数±2字

6.二探针测试装置：

    （1）探针间距：4.77mm

    （2）探针机械游移率：0.3%

    （3）探针压力：0~2kg可调

    （4）测试探头自动升降

7.二探针测试台

    （1）测试硅单长度：100-1100mm

    （2）测试点间距：10mm

    （3）测试台有慢、快二种移动速度，快速移动速度为1000mm/分（均匀

手动）

8.电源：交流220V±10%，50HZ±2HZ，消耗功率<150W

产品名称：智能型环境测试仪 便携式温湿度大气压力计 产品型号：PTHA601

智能型环境测试仪 便携式温湿度大气压力计型号：PTHA601

一、用途： 
PTHA601智能型环境测试仪(温湿度大气压力计)是一种高稳定多功能的测量仪器，于30.00~110.0kPa范围内的环境大气压力、-30~+70℃的范围内的环境大气温度； 0~ RH范围内的探测点空气湿度、-20~+60℃范围内的探测点空气温度的测量，是各环境监测站、实验室、医药卫生、建筑空调供暖、通风、无尘室测试或标定大气压力及温湿度的理想仪器。 
二、特点： 
1. 便携式、多功能、高分辨率、高精度、高稳定性、数字显示、直读测量数据。 
2. 全触摸按键、液晶显示、中文面板指示测量功能、操作简便、直观易读、性价比高。 
3. 直读大气压力、温度；空气温度、湿度等测量数据及连接电脑输出测量数据(选配)。 
4．采用*，带校准、带温补的高精度大气压力传感器。 
5．采用瑞士*，带校准、带温补的温湿度传感器。 
6、采用飞利浦*低功耗微电脑处理器及其他优良元器件。 
7．内置一体化大气压力、大气温度探头，可测量大气压力、大气温度(环境温度)。 
8、外置一体化空气湿度、空气温度探棒，可测量空气温度(风温)、空气湿度、空气露点。 
9．具有测量值温度补偿和智能数值稳定功能。 
10．低电池电压指示。 
11．使用一节9V叠层电池可连续工作50小时以上。 
三、技术指标： 
工作范围 
大气压力30.0~110.0kPa /内置大气压力 
大气温度-20~+60℃ /内置大气温度) 
空气湿度0~ RH(温湿度探棒) 
空气湿温度-30~70℃ (温湿度探棒) 
分辨率 
大气压力0. 01kPa 
大气温度0.1℃ 
空气湿度0.1%RH 
准确度等级 
大气压力±0.3KPa(在30.0~110.0kPa内) 
大气温度±2.0℃(在0~65℃内) 
空气湿度±3%RH(标配) 
±2%RH(选配) 
注：以上是20~80%RH范围内的准确度等级 
空气湿温度±0.4℃在25℃时，±0.9℃(0~40℃) 
电脑接口RS232(选配) 
波特率9600bd 
预热时间5~15分钟 
电源使用一节9V叠层电池 
 

二探针单晶硅及多晶硅测试仪

产品名称：FSY-B型腐蚀率监测仪 腐蚀率监测仪 产品型号：FSY-B

FSY-B型腐蚀率监测仪 腐蚀率监测仪  型号 FSY-B
 　一、概述 

　　　　FSY-B型腐蚀率监测仪是应用现代腐蚀电化学理论，采用了先进的计算　　机技术，它是具有坚固美观的外型，操作简便等特点的腐蚀率测试仪器。它　　可广泛运用于金属腐蚀控制研究和工业循环水系统现场腐蚀在线监测。 
　　　 
二、FSY-B型腐蚀率监测仪技术参数 
　　　１、测量范围：0.000～1.000mm/a； 
　　　２、精度：0.0001mm/a； 
　　　３、工作电压：220V±10﹪,50Hz±5﹪； 
　　　４、消耗功率：15W； 
　　　５、外形尺寸：260×270×75（mm ）。 
　　　 
三、FSY-B型腐蚀率监测仪功能特点 
　　　　自动连续测量、记录数据、绘制腐蚀、点蚀曲线和微机间的数据通讯等　　　功能，显示和打印测试电材料的瞬时腐蚀率、点蚀、平均腐蚀率。仪器　　　配有RS485通讯口。 
　　　　使用该仪器观察腐蚀的变化过程和趋势是它主要的功能。