高精密匀胶机 SC200-SE

高精密匀胶机型号：SC200-SE

主要性能指标：
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁） 
旋涂程序：多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒 
转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm 
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s 
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm 
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm 
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶） 
旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）


产品特性优点：
新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。 
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 
标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。 
排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。 
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔光阻的溢出及有效隔有毒气味的散发。


产品外型尺寸：
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)