四探针电阻率测定仪RTS-8

四探针电阻率测定仪  型号： RTS-8 
  是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技　术　指　标 ： 

电阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可扩展)；  
 方块电阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可扩展)；
 电导率：10^-5～10⁵ s/cm；
 电阻：10^-5～10⁵ Ω；  

可测晶片直径 140mmX150mm（配S-2A型测试台）；
200mmX200mm（配S-2B型测试台）；
400mmX500mm（配S-2C型测试台）； 
恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 
数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示； 
四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿（总力）； 
四探针探头应用参数 （见探头附带的合格证） 
模拟电阻测量相对误差
（ 按JJG508-87进行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 
整机测量相对误差 （用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试）≤±5% 
整机测量标准不确定度 ≤5% 
计算机通讯接口 并口 
标准使用环境 温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射； 


配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、

      四探针测试仪主机、 探针台、 四探针探头、测试软件(含测控模块)