自动椭圆偏振测厚仪

自动椭圆偏振测厚仪  椭圆偏振测厚仪 型号：TPY-2

TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。  
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，于不同用户的需要。  
规格与主要技术指标：  
测量范围：       薄膜厚度范围1nm-4000nm                  折射率范围：1-10    
测量小示值： ≤1nm                                     入射角：20°- 90°精度≤0.05°  
度盘刻度：       每格1度                                 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm  
偏振器步进角： 0.014°/步                                偏振器方位角范围：0°- 180°      
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005  
TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）  
光学中心高度：80mm    
成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）  
主机重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm